销售与支持

IPS™

在线粒子传感器™(IPS™)

全天候检测气体和真空管道中的小颗粒.

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通过24/7实时监控加速设备认证.

使用IPS和新的CyberSpectrum™软件收集和显示颗粒数据，用于实时设备诊断. 使用CyberSpectrum可以更轻松、更快速地比较过去和现在的数据以及一个工具到另一个工具. 实时查看清洗、调整、维修效果. 快速定位污染源，节省时间.

通过内联粒子传感缩短设备维护周期.

实时检测颗粒，并将测量结果与工具事件相关联. 开发工具和过程的基准性能. 通过选择性地维修导致颗粒产生的工具部分，简化维护周期.

有客观和可重复的数据，降低设备费用.

接收设备故障预警，优化预防性维护计划.
数据表
案例研究和白皮书

24小时实时监控

基于我们的WaferSense®机载粒子传感器™技术, IPS利用高功率蓝色激光快速监测, 识别和故障排除颗粒低至0.对于工艺敏感的应用，在气体和真空管道位置1µm.

机械接口

ISO-63法兰(标准配置)

高度准确

测量大于0的粒子.1μm

每小时错误计数少于5次

真空完整性

泄漏率小于10-6 atm-l/秒

激光

通过1级激光认证