概述

通过测量三个点的间隙来实现设备的理想设置.

达到你所需要的差距, 是否需要设置完全平行或略微倾斜的间隙以达到最佳均匀性. 三个AGS传感器分别以数字和图形形式报告过程压力下腔室的读数，使您能够准确地获得所需的间隙.

通过客观和可重复的间隙调整来提高工具到工具过程的一致性.

通过客观(数值)测量来调整您的设备，将人为变量排除在外，从而安心吗. 通过数字和图形显示，一次又一次地进行正确的调整. 通过允许任何人在工具之间设置相同的间隙来改善工具到工具过程的一致性.

通过实时反馈减少设备校准时间.

使用CyberSpectrum™软件的图形用户界面实时查看调整效果, 配备AGS. 当设备设置在公差范围内时，可以从真空工艺室内部进行数值和图形测量.

速度设置，维护和故障排除与自动处理.

可提供200mm和300mm晶圆尺寸.