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概述
无线测量速度设备认证.
使用APSR/RQ和CyberSpectrum™软件无线收集和显示颗粒数据,用于实时设备诊断. 用记录的粒子数据比较过去和现在,以及一个工具和另一个工具. 通过APSR/RQ数据快速定位污染源,并查看清洗效果,从而节省时间, 实时调整和维修.
缩短设备维护周期,具有类似于网线的外形因素.
在不打开工具的情况下实时检测颗粒,因此您不需要将过程区域暴露在环境中. APSR/RQ会去到粒子到达的地方去寻找粒子污染粒子的地方. 一旦确定了颗粒的位置,就可以选择性地清洗工具. 只打开脏的部分,保持干净的区域清洁.
有客观和可重复的数据,降低设备费用.
提高你的第一次通过监控网线成功, 通过APSR/RQ降低您的认证费用并提高可用性. 接收设备故障预警,优化预防性维护计划. 根据已知的清洁工具建立基线, 然后在提交监视循环之前,通过候选工具循环APSR/RQ.
特性
Reticle-shaped. |
也可在150mm, 200mm和300mm晶圆尺寸. *尺寸因型号而异 |
无线 |
实时传输数据到您的笔记本电脑或PC. |
测量大于 .14微米 | 报告0中的粒子.1μm和0.5μm料仓尺寸和更大的颗粒在2、5、10和30 μm料仓尺寸. |
易于使用的软件 |
CyberSpectrum™ 应用软件为用户提供实时的视觉反馈 并且可以记录和重播记录的数据,以供审查和分析. |