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EX-QS晶圆映射
最终的晶圆映射精度现在可以在一个更小的封装. EX-QS是一个EX-Q重新包装在一个较小的情况下,以适应空间有限的应用程序. EX-QS晶圆映射传感器为您提供与EX-Q相同的可靠晶圆检测和易于集成.
Overview
Features
- EX-QS有两种距离.5″ and 2.2″. EX-Q可在1.5” and 2.2”
- 在工厂增益设置下检测各种尺寸和边缘几何形状的亮片,暗片和涂层晶圆.
- 对包括杂散反射在内的映射环境的干扰不敏感.
- 易于使用的, “现成的”直接接口不需要放大或信号调节,降低了工具的总拥有成本
- 非侵入式晶圆映射lol菠菜软件,保护宝贵的晶圆免受无意的崩溃.
- 没有可能导致颗粒污染的活动部件.
- 检测交叉开槽和超薄晶圆.
- Note: 连接器是一个选项,必须在订购时指定.