EX-QS晶圆映射

最终的晶圆映射精度现在可以在一个更小的封装. EX-QS是一个EX-Q重新包装在一个较小的情况下,以适应空间有限的应用程序. EX-QS晶圆映射传感器为您提供与EX-Q相同的可靠晶圆检测和易于集成.

Overview


Features

  • EX-QS有两种距离.5″ and 2.2″. EX-Q可在1.5” and 2.2”
  • 在工厂增益设置下检测各种尺寸和边缘几何形状的亮片,暗片和涂层晶圆.
  • 对包括杂散反射在内的映射环境的干扰不敏感.
  • 易于使用的, “现成的”直接接口不需要放大或信号调节,降低了工具的总拥有成本
  • 非侵入式晶圆映射lol菠菜软件,保护宝贵的晶圆免受无意的崩溃.
  • 没有可能导致颗粒污染的活动部件.
  • 检测交叉开槽和超薄晶圆.
  • Note: 连接器是一个选项,必须在订购时指定.