概述

特性

• EX-QS有两种距离.5″和2.2″. EX-Q可在1.5英寸和2英寸.2”
• 在工厂增益设置下检测各种尺寸和边缘几何形状的亮片，暗片和涂层晶圆.
• 对包括杂散反射在内的映射环境的干扰不敏感.
• 易于使用的, “现成的”直接接口不需要放大或信号调节，降低了工具的总拥有成本.
• 非侵入式晶圆映射lol菠菜软件，保护宝贵的晶圆免受无意的崩溃.
• 没有可能导致颗粒污染的活动部件.
• 检测交叉开槽和超薄晶圆.
• 注意: 连接器是一个选项，必须在订购时指定.